打破“0”紀錄! 國產ArF光刻膠簽下首個訂單, 終結日美40年壟斷

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文/BU 稽核/子揚 校正/知秋

在被日美企業壟斷將近40年後，我國在

光刻膠

領域終於實現了從“0”到“1”的突破。

2020年末，中國首個透過產品驗證的國產ArF光刻膠在中國光刻膠領頭企業——

南大光電

手中誕生，自研的ArF光刻膠透過下游客戶驗證。

而在日前，南大光電又有好訊息傳來。9月10日，南大光電在互動平臺上稱，公司ArF光刻膠已經簽訂小批次訂單。這是國產高階ArF光刻膠簽下的首個銷量訂單，於我國有著十分關鍵的意義。

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這表示，我國終於將美日企業的壟斷撕開了一道口子。這一點十分關鍵，但也十分不易。

在

晶片

製造領域，光刻膠是最核心的耗材，其精密程度甚至與晶片的製程息息相關，可見其重要性。

但是，光刻膠卻成為卡住中國晶片製造的關鍵一環。在光刻膠領域，我國的對外依存度達90%之高，實力遠不及

日本

企業。

日本JSR、東京應化、日本信越與富士電子材料對全球光刻膠市場的佔有率達72%，在ArF、KrF高階光刻膠上壟斷程度還要更高。

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而國產光刻膠想要突圍，則十分困難，需要邁過原材料壁壘、配方壁壘、裝置壁壘、認證壁壘等等，需要投入大量的研發資金、人才、時間等，才能有突破的希望。

因此，南大光電能有如今的成績已是十分不易。目前，南大光電年產能25噸的ArF光刻膠產線已經建成，正在積極推動量產之中。同時，南大光電ArF光刻膠已經獲某儲存晶片製造企業、某邏輯晶片製造企業的客戶認證，已經邁出了不小的一步，未來表現令人期待。

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除了南大光電，我國還有上海新陽、北京科華、江蘇漢拓、福建泓光半導體等企業，實現了在國產光刻膠領域的突破，同樣值得關注。

上海新陽自研的KrF厚膜膠（解析度≥0。15μm，膜厚0。3-15μm）已透過下游客戶驗證，在今年有望實現批次供應出貨；而在ArF光刻膠上，也進入了客戶認證階段。

晶瑞股份解析度在0。15-0。25μm得KrF光刻膠樣品，進入了下游客戶驗證階段；同時，公司也在開發ArF乾式光刻膠。

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北京科華在KrF光刻膠領域有出眾表現，其產品已經打入中芯國際、長江儲存、華虹半導體等中國晶片製造巨頭的生產線，為我國在這一領域實現國產替代作出了重要貢獻。

在這些企業的共同努力之下，我國在高階光刻膠領域受制於人的境況將得到緩解，中國不必擔心有朝一日會被日本斷供。這將保障我國晶片產業鏈安全，推動產業鏈國產化程度的提升。

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從目前來看，在全球晶片短缺的背景下，晶圓廠紛紛拓產，使得光刻膠需求爆發，出現供不應求的境況；同時，日本企業還對一些中國中小晶圓廠斷供。這給國產光刻膠替代帶來了一個難得的機遇。

而從長遠來看，我國半導體光刻膠市場規模正在穩步擴張之中，有著不錯的發展前景，給中國企業提供了足夠的發展天地。

在中國企業的實力不斷提升，加之機遇的共同推動下，國產光刻膠有望更快崛起。