ASML擔心的事情發生了？國產光刻機傳好訊息，已實現小批量出售

國產光刻機傳好訊息

中國正在加快半導體行業發展，與半導體行業相關的光刻機裝置，一直是發展的重中之重。如果是打造一臺EUV光刻機，就需要5000家供應商的支援，還要用上各國頂級的先進技術。

而對於EUV光刻機，目前世界上只有ASML公司能生產。短期內生產出EUV光刻機不是我們的目標，中國半導體需要穩步前進，腳踏實地。

從無到有的過程中，需要步步為營。尤其是光刻機這類先進的裝置，更需要有夯實的基礎。而關於國產光刻機，也傳來一則好訊息。

由中國鐳射巨頭大族鐳射研發的3-5μm解析度光刻機專案取得了關鍵進展，該類光刻機產品已實現小批量出售。根據介紹，3-5μm解析度光刻機可用於分立器件的研發，和LED領域的應用。

能夠取得突破，並實現小批量出售已經是非常大的進步了。任何的科技領先，都是一個積累的過程。大族鐳射作為中國鐳射巨頭，聚焦自研技術，相信後續還會取得更大的突破。

也希望大族鐳射早日從微米攻克到奈米，並實現更先進的納米制程破冰。

ASML擔心的事情

大族鐳射的突破，只是國產光刻機的取得進步的冰山一角，還有更多的先進光刻機技術都在研發當中。從大族鐳射的進步來看，ASML擔心的事情還是發生了。

ASML身為全球光刻機巨頭，在光刻機市場上有非常大的發言權。據ASML表示，要是不將光刻機賣給中國，中國會在3年後掌握這項技術。

另外ASML也說過，中國會在15年後製造所有產品，到時候歐洲企業將失去中國市場。

不難看出，ASML擔心中國光刻機會取得非常大的進步，並有朝一日替代ASML，再也不需要從ASML進口光刻機了。雖然不知道未來是否會替代ASML，又能否實現高階光刻機的突破，但國產光刻機持續取得進步是真的。

大族鐳射只是其一，其二還有上海微電子。上海微電子在28nm光刻機上完成了重要突破，預計將在這幾年內實現交付。

而且上海微電子佔據國內80%的低端光刻機，作為利潤較高，需求較大的低端光刻機，能夠滿足生活中大部分的成熟工藝晶片製造。

這部分的市場，ASML不再是唯一供應商。所以ASML並非沒有競爭壓力，而ASML擔心中國光刻機持續進步這件事正在發生。

國產光刻機破冰之路

光刻機產業的背後，離不開各大供應商的支援。沒有一家企業能夠完整地製造一臺光刻機，就算是ASML，大部分的核心技術都來自國外。

國產光刻機暫時還不要求達到製造EUV光刻機的程度，至少滿足國產自給自足是可以實現突破的。

中國也有自己的光刻機供應商，除了上海微電子負責整機裝備之外，還有華卓精科提供雙工件臺。浙江啟爾機電提供浸沒系統，北京科益虹源負責光源系統等等。

有這些國產光刻機供應商玩家，打造出國產光刻機，實現自給自足是沒有太大問題的。

國產光刻機破冰之路可以從成熟工藝出發，並一步步向下攻克製程技術。上海微電子已經從90nm做到了28nm，未來可以進一步將14nm當成目標。再把12nm，7nm製程工藝的光刻機，納入發展規劃中。

失敗不是問題，問題是連面對失敗的勇氣都沒有。ASML高階光刻機的成功，又何嘗不是歷經千錘百煉。

總結

光刻機的研發製造不是一朝一夕就能完成的，高階光刻機內含10萬個零部件，還要用上各國頂級的技術。這些技術想要取得攻克，可能會花費十幾年的時間。

所以從整體來看，國產光刻機仍有很大的進步空間。大族鐳射實現光刻機的小批量出售，上海微電子也在28nm取得進展。有這些頭部玩家，相信突破只是時間問題。

對此，你有什麼看法呢？